A chilleryaiku piranti banyu pendingin sing bisa nyedhiyakake tekanan konstan, suhu konstan, lan aliran konstan. Iku kanthi nyuntikake jumlah banyu sing cocog menyang tangki banyu, nyedhot banyu liwat sistem kulkas, lan nggunakake pompa kanggo ngeterake banyu sing adhem menyang peralatan sing kudu didinginake. Banyu cooling njupuk panas ing peralatan kanggo entuk efek cooling. Banyu cooling ditambahake menyang peralatan frekuensi penengah utamane amarga frekuensi dhuwur lan arus gedhe. Nalika target sputtering magnetron digunakake, iku bakal generate suhu dhuwur lan deform gun, supaya jaket banyu dibutuhake kanggo kelangan bedhil. Magnetron sputtering bisa diarani minangka salah sawijining prestasi paling apik ing teknologi lapisan. Kaluwihan kasebut yaiku gaya ikatan film-substrat sing apik, tingkat sputtering sing dhuwur, kenaikan suhu substrat sing sithik, lan stabilitas piranti sing apik. Chiller duwe sistem sirkulasi banyu lan sistem kulkas mandiri, sing ora kena pengaruh lingkungan njaba. Bebarengan, fitur-fitur kasebut nyedhiyakake kontrol suhu sing dipercaya lan asil lapisan sing berkualitas kanggo proses lapisan ion vakum.
Fungsi lan karakteristik chiller ing mesin lapisan ion vakum kalebu:
1. Cooling target: Target ing mesin lapisan ion vakum digunakake kanggo generate ion logam, nanging bakal generate akèh panas sak proses nutupi. Chiller cepet cools target liwat sistem cooling sirkulasi kanggo njaga suhu operasi normal saka target, nyegah peralatan saka overheating kanggo nimbulaké Gagal utawa ngurangi kualitas lapisan, lan njamin output stabil saka ion.
2. Kontrol stabilitas: Ingchillerbisa ngontrol suhu peralatan kanthi stabil kanggo mesthekake yen peralatan beroperasi kanthi stabil ing sawetara suhu operasi normal. Iki mbantu njaga konsistensi lan stabilitas lapisan, nambah konsistensi lan linuwih kualitas lapisan.
3. Imbuhan tliti dhuwur: Parameter operasi saka chiller bisa diatur miturut syarat tartamtu, kalebu cooling suhu banyu, aliran lan meksa. Iki ngidini chiller nyedhiyakake kontrol suhu sing tepat miturut syarat lapisan sing beda-beda, njamin stabilitas lan kualitas proses lapisan.
3.Energy saving: Kapasitas cooling efisiensi dhuwur lan fungsi kontrol sing tepat saka chiller mbantu nyuda konsumsi energi. Kanthi ngontrol suhu peralatan kanthi efektif, sampah energi tambahan bisa dikurangi lan efisiensi panggunaan energi bisa ditingkatake.
5. Kinerja pangayoman lingkungan: aplikasi chiller ing mesin lapisan ion vakum bisa nyuda impact salabetipun ing lingkungan. Iku nggunakake banyu sirkulasi kanggo cooling, nyuda konsumsi banyu, lan mrodhuksi gangguan kurang lan geter sak operasi.
Kontrol 6.Environmental: Aplikasi saka chiller ing mesin lapisan ion vakum uga bisa ngontrol suhu sekitar lan asor kanggo nyedhiyani lingkungan apa apik. Temperatur lan asor lingkungan sing cocog bisa nambah tingkat vakum, nyuda pengaruh impurities lan gas, lan nambah kualitas lapisan.
Ing ringkesan, aplikasi sakachillersing mesin lapisan ion vakum kalebu akeh aspèk kayata target cooling, landasan cooling, peralatan cooling lan kontrol lingkungan, njupuk kontrol suhu peralatan lan workpieces sak proses nutupi, Ngapikake kualitas lapisan lan Produktivitas.